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一、設(shè)備簡(jiǎn)介
1、實(shí)現(xiàn)粘片壓力可控，精度高。
2、采用超精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，主系統(tǒng)X、Y軸采用帶有高解析度直線編碼器直線電機(jī)系統(tǒng)。編碼器刻度達(dá)0.1μm精度，可實(shí)現(xiàn)高速、精密、微米級(jí)的定位。
3、DB100A是一款手動(dòng)半自動(dòng)高精密粘片機(jī)。整機(jī)采用大理石運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，確保整個(gè)運(yùn)動(dòng)精度達(dá)到亞微米級(jí)別。
4、可選配吸嘴加熱模塊、吸嘴壓力反饋系統(tǒng)、UV點(diǎn)膠及固化模塊、氮?dú)獗Ｗo(hù)氣體模塊、基板預(yù)熱模塊、工藝監(jiān)控模塊、芯片倒裝貼片模塊。
 
二、功能介紹
1、超大、可自由配置的工作區(qū)域：頂裝構(gòu)架式設(shè)計(jì)提供了超大工作空間。系統(tǒng)可以從華夫盤(pán)，晶圓喂料器和帶式喂料器等喂料 方式的任意組合取料。晶圓取料時(shí)，系統(tǒng)采用馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的、壓力受控的升降機(jī)構(gòu)拾取薄芯片和大縱橫比的芯片，并可進(jìn)行精密 補(bǔ)償。墨點(diǎn)識(shí)別及晶圓測(cè)繪功能保證只拾取已知的好的芯片。700 平方英寸的工作區(qū)域可輕易容下多種送料及出料方式的組合。當(dāng)采用系統(tǒng)獨(dú)有的IC盤(pán)式供料車(chē)時(shí)，T8CT可容納高達(dá)40個(gè)華夫盤(pán)。
2、該系統(tǒng)貼片精度根據(jù)不同配置可以達(dá)到 1um，可根據(jù)不同大小芯片手動(dòng)更換吸嘴。
3、是高端醫(yī)療設(shè)備（核心成像模塊組裝）、光器件（激光器 LD 鈀條組裝、VCSEL、PD、LENS 等組裝）、半導(dǎo)體芯片（ MEMS 器件、射頻器件、微波器件和混合電路）等高精密粘片鍵合的必備設(shè)備。
4、非常適合研究院所、軍工單位、高校等研究機(jī)構(gòu)、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室的研發(fā)、小批量多品種生產(chǎn)的需求。該產(chǎn)品精度高、性能穩(wěn)定，性價(jià)比高。操作非常方便，特別適合高精度的芯片組裝。